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본문 내용
    레이저 직접묘화방법을 이용하여 절연기판(SiO2)위에 미세전도성패턴을 제조하였다. 레이저 유도증착공정은 레이저빔이 금속박막에 조사되면 레이저 빔의 빛 에너지가 금속박막에 흡수되어 열에너지로 바뀌면서 열전도에 의한 열분해반응으로 기판위에 증착이 일어난다. 본 논문에서는 금속박막위에 폴리머 코팅을 하여 레이저 직접묘화공정을 적용하여 미세패턴과 3차원 마이크로 구조물 제조에 관한 연구를 수행하였다. 평균 증착율은 전반적으로 레이저출력이 높을 수록 선형적으로증가하고, 빔 스캔 속도가 감소할수록 증착율은 증가한다는 것을 확인하였다. Polymer 코팅층을 이용하여 미세전극을 증착하여 비저항값을 측정하여, 코팅층을 사용한 경우의 전기전도도가 코팅을 하지 않은 경우보다 약 3배정도 향상되는 것을확인할 수 있었다.

    A micro-conductive pattern was fabricated on an insulating substrate (SiO2) surface using a laser directwriting method. In the LIFT process, when the laser beam irradiates a thin metal film, the photon energy is absorbedby the film and converted to thermal energy, and the thermal decomposition reaction produced by the resulting heatconduction forms a deposit on the substrate. The resistivity of the micro-electrodes deposited through LIFT processwith and without polymer coating was measured. The results showed that the electric conductivity of the micro-patternand micro-structure can be increased approximatly two times when the deposited micropattern is fabricated througha LIFT process with a polymer coating, compared to the case without a polymer coating.   (이하 생략)
TZ-SLE-1476983 폴리머코팅층 레이저 직접묘화법을 이용한 미세패턴증착
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폴리머코팅층 레이저 직접묘화법을 이용한 미세패턴증착 연구논문입니다
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목차
    1. 서론
    2. 레이저 직접묘화
    3. 실험 장치
    4. 실험결과 및 고찰
    4. 결론

상세정보
    소개글 제목 : 폴리머 코팅층 레이저 직접묘화법을 이용한 미세패턴증착 저자 : 이봉구
    발행학회 : 한국산학기술학회 [The Korea Academia-industrial cooperation Society]
    발행정보 : 한국산학기술학회논문지 제 15권 12호 pp.6980-6985(6 pages)
    발행년도 : 2014

    저작시기 : 2014년 12월

    참고문헌 없음
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